种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为很主要的净化设计方案。

高水平的安徽洁净车间净化生产工艺对洁净室的生产环境要求非常严格。电子厂特别是微电子和光电行业的电子厂，对大面积云南洁净车间净化的生产环境要求不仅是:建筑围护结构、结构、空气、水、气、溶剂等原料，而且还要有声、光、电、磁、振等环境。如:建筑形式、承重高度、围护结构等装饰材料;空气清洁度、温湿度、静压;水、气的纯度和重金属含量以及噪声、光照、静电、电磁波、微振动等。机组所有进出管路全部保温，阀门、接头保温要留出维护操作部位，如采用蒸汽盘管，在蒸汽管口处须安装疏水器，排水通畅。

机组与风道连接处应设柔性接管，风管的重量不应由机组承受，连接处应进行密封及保温处理，避免漏风和凝露，机组出风口必须保证至少2倍出风口长边尺寸的直风管，弯管和变径会增大额外压损，造成风量不足。机组所有进出管路全部保温，阀门、接头保温要留出维护操作部位，如采用蒸汽盘管，在蒸汽管口处须安装疏水器，排水通畅。中净环球净化可提供净化车间、洁净厂房的咨询、规划、设计、施工、安装、改造等配套服务。4、物料进入车间的时候一定要吹淋，在环境中使用真空吸尘器初步进行吸尘净化，进入无尘室内后，再用真空吸尘器擦拭方法进一步处理。